一，机械用途

用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜

二，机械优点

采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。

销售技术杨经理：181-030-45976

三：特征

真空室尺寸：Φ600-1800mm60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵规格设备名称

四：规格

OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架转速10rpm to 50rpm(可变)光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式/透射式水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源电子枪2套离子源17cmRF离子源排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

五：性能

达到压力7.0×10-5 Pa 以下排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)基板温度最高：350℃工作条件设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA水流量140升/分以上空气压力0.5MPa以上重量约8500kg