日本光弛OTFC-1550真空镀膜机 射频源电镀机转让
东莞市宏诚光学制品有限公司
联系人:杨肖梅
邮箱: 2531943211@qq.com 2531943211@qq.com
设备尺寸:
设备名称 OTFC-1550CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H)
工件架 φ1400mm
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cmRF离子源
机械性能:
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
达到压力 7.0×10-5 Pa 以下
排气时间 15分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度 最高:350℃
工作条件:
设备尺寸 约5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约120KVA
水流量 180升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约10000kg
适用于L ED用光学薄膜、ITO膜、 反射防止膜、超多层薄膜等各种光学薄膜形成装置
销售技术杨经理:18103045976/13723521401
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