模块

参数项

指标说明

气体稀释

质量流量测量精密度

读数的 ±2% 或满量程的 1%（取较大者，适用范围：满量程的 20~100%）

质量流量测量线性度

满量程的 0.5%

质量流量测量重现性

读数的 ±2% 或满量程的 1%（取较大者，适用范围：满量程的 20~100%）

量程

零气

5, 10, 15, 20 slpm

标气

25, 50, 100, 500 m

稀释比

取决于选择的质量流量控制器

臭氧发生器

臭氧输出

6 ppm/L

光度计

预置量程

0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 ppm

定制量程

0.05–5.0 ppm

零噪声

0.75 ppb（300 秒平均时间）

最低检测限

1.5 ppb（300 秒平均时间）

响应时间（控制模式）

<180 秒

线性度

满量程的 ±1%