CANON-ANELVA佳能真空计M-350PG-SP N16是一款皮拉尼真空计，主要用于低真空和中真空区域的压力测量，具有高性价比和多功能性，适用于食品、汽车、制药等行业‌。以下是其主要技术参数和特点：

• ‌压力范围‌：5×10⁻²至1×10⁵ Pa
• ‌精度‌：
  • ±50%（5×10⁻²至1×10⁻¹ Pa）
  • ±15%（1×10⁻¹至1×10⁴ Pa）
  • ±50%（1×10⁴至1×10⁵ Pa）
• ‌重复性‌：±2%（1×10⁻¹至1×10⁴ Pa）
• ‌输入电压‌：DC 14-30 V，功耗1 W
• ‌输出接口‌：模拟输出0-10 V，RS485通信（D-Sub 9引脚）
• ‌工作温度‌：5-60°C，支持烘烤（最高150°C或300°C，取决于密封类型）‌。

• 粗抽系统压力监测、排气控制、PVD/CVD工艺真空度维持等‌。
• 兼容多种传感器类型（如MP-1）和法兰规格（NW16、NW25等）‌