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碳化硅晶圆表面打磨，用中西6万转自动换刀浮动主轴

深圳市春亨工具仪器有限公司

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碳化硅晶圆表面打磨抛光，机械臂加装中西NAKANISHI自动换刀浮动主轴NR3060-AQC，功率350W，转速6万转每分钟，旋转跳动精度1μm以内，搭配浮动刀把，可实现径向轴向双向打磨。

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