GPI XP/D系统参数及测量精度

测量光束直径

4"(102mm)

激光类型

632.8nm II级 氦-氖激光

测量重复性

Lambda/100@632.8nm

RMS重复性

2Lambda/10000@632.8nm

数据采样

640x480像素，8位。（可拓展：1024x1024像素）

测量精度Zygo GPI XP/D标准镜头性能参数（直径102mm）

平面标准镜头精度

Lambda/20@632.8nm

球面标准镜头精度

Lambda/10@632.8nm

球面标准镜头F数

F/0.65,F/1.6,F/3.3,F/7.1