设备名称

OTFC-1550CBI/DBI

真空室

SUS304, φ1550mm×1800mm (H)

工件架

φ1400mm

工件架转速

10rpm to 30rpm(可变)

光学膜厚控制

HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式

水晶式膜厚计

XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源

电子枪2套

离子源

17cmRF离子源

排气系统

机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

达到压力

7.0×10-5 Pa 以下

排气时间

15分（大气压～1.3×10-3 Pa)

基板温度

最高：350℃

设备尺寸

约5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)

电源

3相,200v,50/60Hz, 约120KVA

水流量

180升/分以上

空气压力

0.5MPa以上

重量

约10000kg