二手日本光驰光学镀膜机/真空镀膜机/光学电镀机/离子源镀膜机OTF
东莞市宏城光学制品有限公司
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二手日本光驰光学镀膜机/真空镀膜机/光学电镀机/离子源镀膜机OTFC-1800介绍
设备尺寸:
设备型号 OTFC-1800CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计 XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 23cmRF离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
机械性能:
达到压力 7.0×10-5Pa 以下
排气时间 20分(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度 最高:350℃
设备尺寸 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
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