二手日本光驰电子束光学镀膜机/离子镀膜机/真空镀膜机/光学电镀机介绍

日本光弛OTFC-1800CBI/DBI真空镀膜机  离子蒸发电镀机

机械特点：

真空室尺寸：Φ600-1800mm

60点/80点式光学膜厚监控

使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

工件架可选择钟罩式或行星式

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵