前级泵采用KF25接口,分子泵转速达到51000转/分,抽速达到140L/S,分子泵启动时间≤2min,空载极限压强≤1X10-4Pa ,真空测量范围1E﹢2到1E-5 Pa,真空测量精度1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性:?±5%。 科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统,具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
