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马可波罗网 > 马可视频 > 通用机械设备 > 真空获取与应用设备 > 真空镀膜机 二手振华ZCK-1150镀膜机1.15×1.2米中频磁控镀膜

二手振华ZCK-1150镀膜机1.15×1.2米中频磁控镀膜

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东莞远大真空技术有限责任公司

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1.2米振华中频磁控溅射机电阻/电容/传感器/电子产品行业镀膜机 主要技术参数: 1.镀膜室尺寸:1150×1200 2.真空系统:油扩散泵两台,2x-70升旋片泵一台,罗茨泵一台,2x-15升旋片泵一台 3.极限真空:5×10-4 pa 4.抽气时间:从大气抽至5×10-3pa小于20分钟(空载) 6.多弧源:8个×95,功率:8×2KW 7.磁控溅射平面靶(无) 8.磁控中频溅射圆柱靶2支×30KW 9.偏压:20KW 10.温度控制:用温控仪控制,热电偶测量炉内温度 11.真空室加热:6根加热管 12.工件转架:9轴公自转 13.充气方式:一路质量流量控制 14.设备总功率:80KW 15.设备总重量:约4T 16.设备总占地面积:16M2 17.使用220V/380V电压 18.用于冷却的水亦以软水为宜,水压为2kg/cm2 19.气源4-6kg/cm2,选用0.1立方的压缩机为宜

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