SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

MT21测量软件提供向导式的操作流程，能简单快捷地完成圆轨迹的测试。采集的数据可根据GB 17421-4、ISO 230-4、ASME B5.54、JIS B标准自动生成图文格式的分析报告，并计算出位置精度的总体测量值（圆度、圆度偏差），实现了对机床真正意义上的空间分析。