新能源硅晶片行业喷砂机,硅片喷砂机 太阳能硅晶片喷砂机设备
桐乡腾博环保设备有限公司
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半导体行业的单晶硅晶片(圆形、方形等)在生产过程中需要使用喷砂机去表面的杂质,由于晶片厚度非常薄(170微米),所以喷砂的难度特别大,稍有不慎便会将晶片打碎,给业主造成损失。
所以腾博公司针对该行业,研制的新型晶片喷砂机,其工作原理是通过高速流动的空气形成的外压,将硅晶片固定在输送皮带上,所以在喷砂时才能做到硅片不被吹飞,另外在直径75~100mm的硅片表面喷砂,要做到减薄厚度一致,喷砂前后的测量结果需要喷掉5微米,而且在取样的5个点之间厚度偏差不能超过1微米。
本机使用的是280目的绿碳化硅磨料,因为喷砂物件的脆性非常高,所以磨料里不能掺杂一点杂质,任何大于100目的颗粒状物体掺入磨料,通过喷嘴喷到物料上都会将物料打碎,所以我们采用完全过滤的方法,将过滤仓和储料仓通过筛网做到完全隔离,保证喷砂机出来的磨料都是合格的,机器使用1天需要清理一次过滤筛网,保证磨料能通畅的进入储料仓。 回收砂材使用风力回收,做到不存砂,回收彻底,回收管道在转弯处都做成可拆卸结构,便于将来被磨料击穿后更换,机器内部有耐磨橡胶板做防护,放置喷砂机从内部损坏。
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